Produktkategori
Kontakt oss

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresse:

Plant No.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-post:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Nyheter

Hjem > NyheterInnhold

Retningslinjer og forholdsregler for bruk av metallsputteringmål

Retningslinjer og forholdsregler for bruk av metallsputteringmål

Først sputtering forberedelse

Det er veldig viktig å holde vakuumkammeret, spesielt renseanlegget. Eventuelle rester dannet av smøreolje og støv og pre-belegg vil samle vanndamp og andre forurensninger, som direkte påvirker vakuumgraden for å oppnå og øke muligheten for filmfeil. Metallspruttering Mål Kortslutning eller målstartbue, overflate roughness og kjemiske urenheter overskrides ofte på grunn av urent sputtering rom, sputtering pistol og mål forårsaket. For å opprettholde sammensetningen av belegningsegenskapene, må forstøvningsgassen (argon eller oksygen) være ren og tørr, sputteringskammer i substratet etter behov for å trekke ut luften for å oppnå den nødvendige vakuumprosessen. Mørke områdes skjold, hulrom og tilstøtende flater må også holdes rene. Ved rengjøring av vakuumkammeret anbefaler vi bruk av sprøytemetode for glassballong for å håndtere skittdeler samtidig med trykkluft for å fjerne hulrommet rundt forspraderingsresten, og deretter aluminiumsimpregnert sandpapir forsiktig på overflaten av poleringen. Etter polering av gasbindet, skyll deretter med alkohol, Metal Sputtering Target aceton og deionisert vann, og anbefaler bruk av industriell støvsuger for ekstra rengjøring.

FORSIKTIG: Når du bruker målet, må du holde rene og ubeskyttede vernehansker og unngå direkte kontakt med målet

For det andre, målet er rent

Formålet med målrengjøringen er å fjerne støv eller smuss som kan være tilstede på overflaten av målet.

Metallmål kan rengjøres med fire trinn,

Det første trinnet i acetonen gjennomvåt i den luddfrie, myke kluten ren;

Det andre trinnet ligner det første trinnet med alkohol;

Det tredje trinnet er å vaske med avionisert vann. Etter vasking med avionisert vann ble målet deretter plassert i en ovn og tørket ved 100 ° C i 30 minutter.

Rengjøring av oksyd og keramisk målrengjøring med en "luddfri klut".

Trinn 4 Etter å ha fjernet det skitne området, skyller målingen med metallsputtering mål med argon ved høyt trykk og lav fuktighet for å fjerne alle urenheter som kan føre til buer i forstøvningssystemet

Tredje, målinstallasjonen

Det viktigste å merke seg under installasjonen av målet er å sikre at en god termisk forbindelse etableres mellom målet og sputtering pistolens kjølevegg. Hvis stivheten til kjølemuren er alvorlig eller bøyningen av bakplaten er alvorlig, oppstår knekking eller bøyning når målet er montert, og varmeledningsevnen til bakmålet til målet vil bli sterkt påvirket, resulterer Metal Sputtering Targets som resulterer i varme i forstøvningsprosessen Fordelingen vil til slutt resultere i målbrudd eller avmål

For å sikre tilstrekkelig termisk ledningsevne, kan et lag av grafitt være polstret mellom katodens kjølevegg og målet. Pass på å nøye sjekke og avklare flatheten i sputtering pistolens kjølevegg som brukes mens du sørger for at O-ringen alltid er i posisjon.

På grunn av graden av renslighet av kjølevannet som brukes og mulig forurensning av utstyret under driften av utstyret, er det nødvendig å inspisere og rengjøre katodens kjølevannstank ved installering av målet for å sikre jevn strømning av kjølevann og innløp og utløp vil ikke bli blokkert.

Noen av katodesignalet er mindre med anodgapet, Metal Sputtering Targets, slik at installeringen av målet trenger å sikre at katoden og anoden ikke er i kontakt med lederen, ikke kan eksistere, ellers vil det gi kortslutning.

Se produsentens instruksjoner for informasjon om hvordan du skal installere målet riktig. Hvis du ikke har denne informasjonen i brukerhåndboken, vennligst prøv å følge anbefalte anbefalinger. Når du strammer målfixturen, trekk først en bolt for hånd, og fest deretter en annen bolt på diagonalen. Metal Sputtering Målene må gjentas til etter at alle boltene er montert, og deretter strammes verktøyet